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洁净室检测


一、洁净室之定义

 
洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
 「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及 照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力 等性能之特性。
  洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。
 
 
检测项目
一、洁净室综合性能: 1.悬浮粒子数; 2.浮游菌; 3.沉降菌; 4.温度 5.相对湿度; 6.换气次数; 7.风量和风速; 8.静压差; 9.照度; 10.噪声级; 11.高效过滤器检漏; 12.自净时间; 13.污染泄漏。
 
二、灭菌器性能验证: 1.温度分布与控制 ――空载热分布试验; ――装载热分布试验; ――热穿透试验。 2.灭菌温度与时间; 3.灭菌效果(生物挑战性试验)。